韓國業(yè)內(nèi)一項(xiàng)調(diào)查顯示，美國、日本、歐洲企業(yè)實(shí)際上壟斷了韓國半導(dǎo)體設(shè)備 AI 專利。提高半導(dǎo)體生產(chǎn)效率的關(guān)鍵是 AI 技術(shù)，業(yè)內(nèi)擔(dān)憂韓國半導(dǎo)體設(shè)備競爭力將受到影響。

據(jù) ETNews 報(bào)道，下一代智能半導(dǎo)體財(cái)團(tuán)與韓國半導(dǎo)體顯示器技術(shù)學(xué)會(huì)合作，對(duì) 10 大外國半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)和 10 家韓國本土半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)的 AI 專利競爭力進(jìn)行了調(diào)查。結(jié)果顯示，韓國半導(dǎo)體設(shè)備相關(guān)的人工智能專利中，外國企業(yè)占 98%。

在這其中，占比最大的是美國軍方，共申請(qǐng)了 54 項(xiàng)專利。ASM 和 ASML 分別為 24 和 20。日立高科技申請(qǐng)了 12 項(xiàng)，應(yīng)用材料申請(qǐng)了 11 份。而韓國本土設(shè)備企業(yè)只有 3 項(xiàng)，兩項(xiàng)來自 SEMES，一項(xiàng)來自 PSK。

AI 技術(shù)在半導(dǎo)體設(shè)備中的應(yīng)用直接關(guān)系到生產(chǎn)率，可用于晶圓轉(zhuǎn)移、工藝配方優(yōu)化和缺陷形態(tài)分析。這減少了半導(dǎo)體生產(chǎn)的過程時(shí)間和成本，同時(shí)提高了產(chǎn)品收率。業(yè)內(nèi)評(píng)價(jià)稱，如果將 AI 技術(shù)應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備，生產(chǎn)效率最高可提高 10 倍。

Lam Research 稱，其最大的優(yōu)勢是通過 AI 技術(shù)將實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)的數(shù)量和成本減少 20%。KLA 和 TEL 也將 AI 應(yīng)用于他們的測量和測試設(shè)備。

報(bào)道指出，外國企業(yè)從 2008 年開始在韓國申請(qǐng) AI 相關(guān)專利。特別是，自半導(dǎo)體超級(jí)周期正式開始的 2017 年以來，外國企業(yè)的專利申請(qǐng)急劇增加。而韓國本土企業(yè)直到 2018 年才申請(qǐng)專利。

下一代智能半導(dǎo)體財(cái)團(tuán)理事長 Hyung-joon Kim 評(píng)價(jià)稱:“大部分專利都是在申請(qǐng)后 1 年半后才公開的，因此外國企業(yè)急于通過提前公開和優(yōu)先審查來確保專利權(quán)?！?/p>

如果不能及時(shí)確保專利權(quán)，設(shè)備的競爭力將會(huì)下降。由于半導(dǎo)體制造工藝相似，如果外國企業(yè)首先獲得專利，就有可能中斷國內(nèi)設(shè)備的開發(fā)。由此可見，AI 專利競爭力已成為進(jìn)入新一代半導(dǎo)體設(shè)備市場的障礙。

Hyung-joon Kim 強(qiáng)調(diào)說，“國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備 AI 專利的引進(jìn)和開發(fā)出乎意料地落后。有必要在診斷和檢測等相對(duì)容易引進(jìn)的領(lǐng)域推進(jìn) AI 專利申請(qǐng)?！?/p>

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